半導体製造工程用PBIナチュラルグレード切削加工用母材

高耐熱性耐摩耗性

 圧縮成形 

SCM7000HPは、PBI低金属含有、低アウトガスグレードをPBIメソッドにより圧縮成形した切削加工用素材です。


SCM7000HPの特徴

高純度:
低金属含有、低アウトガス

機械特性:
高強度で高硬度

熱的特性:
超耐熱、低膨張率および低熱伝導

耐エネルギー特性:
良好なプラズマ耐性

耐溶剤特性:
酸・塩基、有機溶剤に対する強い耐性

SCM7000HPの主要物性

項目 条件 規格 単位 物性値
SCM7000HP
引張強さ 23°C ISO 527 MPa 160
引張破壊ひずみ 23°C ISO 527 % 3.0
曲げ強さ 23°C ISO 178 MPa 220
曲げ弾性率 23°C ISO 178 GPa 6.5
ノッチ付きシャルピー衝撃強さ 23°C ISO 179 kJ m-2 4.0
線膨張率 < Tg JIS K7197 ppm °C-1 23
表面抵抗値 23°C ANSI/ESD STM11.13 Ω
>1013
吸水率 23°C、24 hr ISO 62 % 0.40

物性値は弊社で測定した代表値であり、保証値ではありません。

SCM7000HPの母材サイズ

形状 角(mm) 厚(mm) MOQ/SPQ
板材 305 10 1/1
20
30
40
50