PBI SCM7000HP(高純度PBI) 適用於半導體製程設備用母材

超高耐熱特性耐摩擦特性

 熱壓成型 

SCM7000HP 是經過熱壓成形製成的100%PBI 材料:高純度PBI具有極低的金屬含量和低釋氣(Out-gassing )特性。


SCM7000HP 特性

超高純度:
低金屬含量, 低釋氣性

機械特性:
優異的機械強度及硬度

熱特性:
超高耐熱性,低線膨脹係數,低導熱性

高電阻抗值:
優異的抗PLASMA特性

高耐化性:
對有機溶劑,酸和鹼的耐化性

SCM7000HP 基本物性表

項目 條件 標準 單位 物性
SCM7000HP
拉伸強度
23°C ISO 527 MPa 160
拉伸伸長率
23°C ISO 527 % 3.0
彎曲強度
23°C ISO 178 MPa 220
彎曲彈性模數
23°C ISO 178 GPa 6.5
Charpy 衝擊強度 (缺口) 23°C ISO 179 kJ m-2 4.0
熱膨脹係數
< Tg JIS K7197 ppm °C-1 23
表面電阻值 23°C ANSI/ESD STM11.13 Ω > 1013
吸水率
23°C、24 hr ISO 62 % 0.40

此物性數量為測定代表值,非為保證值。

 

SCM7000HP 標準尺寸

Shape 正方形 / mm 厚度 / mm 最低訂購量/SPQ
板材 305 10 1/1
20
30
40
50