フラットパネル製造のアプリケーション例

 

ウェットステーション

icon-caret-square-o-right SPR7960

スパッタリング装置

icon-caret-square-o-right SCM7000
icon-caret-square-o-right SCM7000HP
icon-caret-square-o-right SCM7600

スピンコーター

icon-caret-square-o-right SPR7960
icon-caret-square-o-right SCM7600

ステッパー

icon-caret-square-o-right SCM7000HP
icon-caret-square-o-right SPR7960
icon-caret-square-o-right SEM5500

デベロッパー

icon-caret-square-o-right SPR7960
icon-caret-square-o-right SCM7600

ドライエッチャー

icon-caret-square-o-right SCM7000HP

ストリッパー

icon-caret-square-o-right SPR7960
icon-caret-square-o-right SCM7600

 

適合する切削加工用母材

PBI系の切削加工用母材

SCM7000 | PBI

SCM7000

PBIナチュラルグレード

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SCM7000HP | PBI

SCM7000HP

半導体製造工程用PBIナチュラルグレード

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SCM7600 | PBI

SCM7600

PBI 炭素繊維強化グレード

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SPR7960 | PBI-PEEK

SPR7960

PBI-PEEKアロイ炭素繊維強化グレード

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PEEK系の切削加工用母材

SEM5500 | PEEK

SEM5500

PEEK導電性グレード(CNT)

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